我国电科45所湿法设备进入国内干流8英寸芯片产线

  近来，我国电科45所（以下简称45所）研发的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内干流FAB厂。该整线英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。

  晶圆尺度与工艺线宽代表湿法设备的工艺水准，45所研发的整线英寸干流FAB厂湿法设备正常运转规范，自动化程度高，体系集成度高，掩盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程，完成了全自动湿法去胶、湿法腐蚀、湿法金属刻蚀、RCA清洗、Marangoni枯燥等工艺。

  设备是半导体工业的柱石，据SEMI计算，2021年全球半导体制作设备销售额创历史上最新的记载，到达1026亿美元，同比增长了44%。在全球芯片扩产潮的推进下，晶圆厂的设备开销将持续提高，估计全球商场2022年将到达1175亿美元，2023年将增至1208亿美元。

  一是半导体设备职业集中度高。据我国电子专用设备工业协会计算，国内前十家半导体设备公司出售的收益占国产设备企业出售的收益总额的80%。设备有突出贡献的公司与制作领军企业在工艺与设备开发方面深度协作，不断强化有突出贡献的公司位置。二是国产半导体设备细分种类不断丰富，逐渐步入规划工业化阶段。例如，北京烁科中科信公司现在已完成中束流、大束流、高能及第三代半导体等特种使用全系列离子注入机自主立异开展，工艺段掩盖至28nm。三是长时间资金商场对半导体设备科学技术立异和工业化的支撑力度日益增强。2019年以来，多家企业凭借科创板敏捷完成IPO上市，征集资金，加快科研投入，工业化进一步提速。

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